真空泵進行能量轉換時，總是有一小部分損耗轉變成熱量，它必須通過電機外殼和周圍介質不斷將熱量散發出去，這個散發熱量的過程，我們就稱為冷卻，常用的方法有以下四種。

1、轉子的內部冷卻。為了使真空泵在更高壓差下工作，可采取更有效的冷卻方法，即將轉子用循環油冷卻，在真空機組軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入，經轉子內壁再從另一端排出。

2、空氣冷卻。即是由間級或雙級泵吸入的空氣經壓縮后，通過綜合吸收及有相位差的組合消音器傳送。

3、冷卻。真空泵由于輸送和壓縮氣體而產生熱量，這些熱量必須從轉子傳至殼體而散發。

4、轉子的油膜冷卻。這種冷卻方法是在真空泵入口處連接一個輸油管，用均勻滴下的冷卻油帶走轉子的熱量。

當真空泵溫度過高時可采取不同的冷卻方式，避免損失的出現。