無油真空泵又稱干式真空泵是泵的工作腔內沒有任何介質可以原汁原味的回收氣體。而有油真空泵像旋片泵是靠介質油來工作，同樣的水環泵是靠水來工作（那么水就受到污染）。

一、有油真空泵

　　有油真空泵是通過油來密封，潤滑，降溫，這個類型的真空泵可以接受一點水分，而無油真空泵由于葉片材質多是石墨制作的，如果遇到水分，就容易膨脹，損壞，但是無油真空泵用起來比較干凈，在一些環境要求比較高的地方可以使用。

二、無油真空泵

　　它的工作原理和一般容積泵相同，由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子，偏心地安裝在定缸內，當轉子高速旋轉時，轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分離開來，周而復始運轉，進行變容，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。