機械真空泵的維護和保養：  

（1） 泵及其四周環境應經常保持清潔。  

（2） 泵在運轉過程中應保持油箱內油量不得低于油標中心。  

（3） 不同種類和牌號的真空泵油不可混合使用。  

（4） 泵在使用中溫升不能超過70℃。  

（5） 新泵在使用100 h左右應換1～2次油，待換下的油內不再發現含黑色金屬粉末后，可加長換油期限。根據說明書規定和使用實際情況來確定換油期限。  

（6） 新泵和修理后的泵應現作運轉試驗4～6 h，檢查泵是否符合使用要求。  

（7） 泵使用較長時間以后（2～3年不等），極限真空度下降，應進行一次檢修。同時也應對系統、管道、閥門和電動機等加以清洗、檢修。  

（8） 泵在使用中，因系統損壞等特殊事故，或進氣口突然暴露大氣時，應盡快停泵，并切斷與系統連接的真空管道（關低真空閥或夾真空夾），防止噴油，污染工作場地。  

（9） 泵上所有機件，非絕對必要，切勿自行拆卸。  

（10）泵不用時，應用橡皮塞（帽）把進氣口塞好，以免贓物和硬質東西落入泵內。  

（11）經常注意真空技術發展動向，盡量及早地引入新技術、新材料（如新泵油等），以改進原有系統的性能。  以上數點，可按具體情況，訂出相應操作規程，嚴格施行。  1.2、整套設備的日常維護：  （1） 操作人員要熟悉各種儀表、泵，設備的各部分。閱讀并理解各種說明書。  

（2） 冷卻水水壓應保持0.1～0.2 Mpa之間，出水溫度≤45℃。  

（3） 壓縮空氣壓力在0.4～0.5 Mpa之間。  

（4） 每爐開機前，要檢查保護氣的氣瓶容量，以免氣體充不足，更換氣瓶。  

（5） 開機后如有異常情況，應立即排除或停機查找原因。  

（6） 經常檢查各部分的回水量，工作時應保證各部分有充足的冷卻水。  

（7） 設備停止使用時，應將爐內氣體抽空，長時間不用，要充入保護性氣體，并把設備水冷套內的循環水放掉。  

（8） 機械泵、羅茨泵應定期換油加油，羅茨泵的油杯中要保持一直有油。換油時一定要把廢油放干凈。  

（9） 擴散泵換油時，內部如有氧化，要把擴散泵內部的氧化層處理干凈，然后再換上新油。  

（10）充入的保護性氣體，純度不應小于99.99%。  

（11）本設備不允許使用易燃易爆和具有腐蝕性氣體作為保護氣氛。  

（12）設備表面及儀表表面要保持清潔，擦拭爐體內壁不允許有帶有水份及沾有非真空類用油的抹布擦拭。  

（13）氣動系統的氣動三連件上的油水分離器要經常放水，油霧器內應注入真空擴散泵油。  

（14）設備的整機電壓要保證在350～420 V范圍內。三相要平衡。  

（15）規管、電接點壓力表、熱偶等處要經常涂上擴散泵油，使之與座之間形成一層油膜，防止漏氣。以上各部分及法蘭連接處不允許長期使用真空封泥密封。  

（16）各部分的螺栓定期檢查，如發現松動，及時擰緊。  

（17）設備工作時，注意觀察各儀表的顯示情況，及各泵的聲音，以便及時發現異常，找出問題。  

（18） 設備的使用環境，在相對濕度85%以下，溫度在10～40℃。在拆修設備時，各部分不許用重錘敲擊，密封面、密封槽不許劃傷。  

（19） 設備在工作時，操作人員不得長時間離崗